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Q 크라이오 펌프 ROR 확인 방법

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1. 크라이오 펌프 질소 퍼지가 완료 된 후 30분 또는 60분 동안 러핑 밸브를 열어 진공을 만들어 줍니다.
2. 러핑 밸브를 닫고 압력을 모니터링 합니다.
3. 15분 동안 압력의 변화를 확인 합니다.
4. 100mTorr 이하로 상승 하는 경우 정상 상태입니다.
5. 100mTorr 이상 압력이 상승하는 경우, 러핑밸브를 열고 펌프의 압력이 25mTorr 이하가 될때까지 펌핑을 합니다. 퍼지 상태에 따라 시간이 오래 걸릴 수도 있습니다.
6. 러핑 밸브를 열고 15분간 압력 상승을 확인 합니다.
7. 압력이 100mTorr이상 상승하는 경우 시스템의 리크여부를 확인 하여 주십시오.
8. 이상이 있는 경우 질소 퍼지를 다시 실시하고 반복하여 ROR확인을 합니다.
9. 수차례 질소 퍼지 반복 후에도 이상이 있는 경우, 크라이오 펌프를 점검 하여 주십시오.

Q MFC의 유량 조절이 되지 않는경우 점검 사항

 A

MFC의 유량 조절이 되지 않는경우 다음을 먼저 확인 하여 주십시요.
1. 가스의 공급에는 이상이 없는가?
2. 공급 라인의 밸브가 정상 동작 하고 있는가?
3. 공급 라인이 막히지는 않았는가?
4. MFC의 전원공급 및 조절 전원의 이상은 없는가?
5. 노이즈가 발생하지는 않는가

Q 온도 조절기의 CJC 설명

 A

써머커플은 두 개의 다른 금속이 접합되었을 때 전위차가 발생하는 원리에 의해 동작합니다. 일반적인 써머커플(K, E, J 타입 등)은 특정 금속의 짝으로서 구별됩니다. 이 금속들의 접합에서 나오는 전위차와 온도와의 수학적인 상관관계(기전력 테이블 참조)는 이미 알려져 있습니다.

일반적으로 써머커플과 측정기를 연결하면 cold junction이라 불리우는 또 다른 상이한 금속들간의 접합(예를 들면 써머커플과 단자사이)이 생기게 됩니다. 이로 인해 측정에 오차가 생기는데, CJC(Cold Junction Compansation)는 cold junction에 의해 생긴 전압의 영향을 제거하기 때문에 더 정확하게 온도를 측정을 할 수 있습니다.

몇몇 측정 보드(DAQ Board)와 시그널 컨디셔닝 장비들에는 내부적인 built-in CJC 터미널이 있습니다. 이 CJC 터미널은 원하지 않는 전압을 계산해서 제거해주는 데 쓰이는 온도 레퍼런스입니다. 정확한 온도 측정을 하기위해서는 CJC 조절을 해주시기 바랍니다

Q 스로틀밸브 Lead & Gain 설정 방법

 A

일반적으로 Lead 값은 시간(sec), Gain 값은 %로 표시 됩니다. 각각의 값은 다음과 같습니다.
1. Lead : 현재의 압력이 설정 압력에 도달 할 때까지의 시간을 의미 합니다.
2. Gain : 현재의 압력이 설정 압력에 도달하기 위해 얼마의 각도(Open)가 되어야 하는지를 의미 합니다.

이런의미에서 이론적으로 시간(Lead)을 줄이고, Gain 값을 늘려주게 되면 원하는 압력에 빨리 도달 할 수 있습니다. 그러나 챔버의 크기에 따른 펌핑 능력과 가스의 유량에 의해 적절하지 않은 값(무리하게 낮은 Lead 값 또는 너무 큰 Gain)을 설정하는 경우 오실레이션 하는 문제점이 발생 할 수 있습니다.

즉, 설정 압력을 유지하기 위해 스로틀 밸브가 동작 하면서 오실레이션 하는 경우 Lead 값을 늘려주거나, Gain 값을 줄여 주면 적절한 설정 값을 찾을 수 있습니다.

반대로 압력이 오실레이션 하는 경우에는 Lead 값을 줄여주거나, Gain 값을 늘려주면 적절한 값을 찾을 수 있습니다.

Q Z-Factor 설정 방법에 대하여

 A

1. 일반적인 물질의 Z-Factor 결정

- Z-Factor는 두 물질의 acoustic impedance 비율을 의미 합니다.
- 즉 일반적으로 사용되는 quartz sensor(Zq=8.83)와 증착되는 물질(gold Zm=23.18)사이의 acoustic
impedance 비율을 계산하면 됩니다.

Ex) Gold Z-Factor 계산방법

Gold Z-Factor = 8.83/23.18=0.381

2. Shear Modulus(층밀리기 탄성률)을 이용한 Z-Factor 결정

Z-Factor=((Dq*Uq)/(Dm*Um))1^2 where Uq~32Gpa

※ Shear Modulus(층밀리기 탄성률) 이란?

외부에서 가한 힘에 대해 물체의 모양이 얼마나 변하는지를 나타내는 척도이다.
층밀리기의 경우 변형력은 단위면적당 힘이지만 힘 벡터가 면에 수직하지 않고 면 안에 있다.
층밀리기 탄성률은 단위면적당 가해지는 힘이 물체의 길이당 얼마나 옆으로 물체가 밀렸는지를 말해준다.
그리고, 외부의 힘에 의해서 모양은 변하지만 부피(체적)는 변하지 않는 경우에 모양이 변하는 비율을 나타
낸다. 따라서 외부의 힘에 의해서 물체의 모양이 변하기 어려운 정도를 나타내는 것으로, 물질에 따라 고유
한 값을 가지며, 이 값이 작은 것일수록 같은 힘에 대해 큰 변형이 나타난다.

3. 실험적인 방법으로 Z-Factor 결정(사용 물질의 Z-Factor 를 알 수 없는 경우)

1) 사용하지 않은 새로운 센서를 사용합니다.
2) 산출된 density(알수 없는 물질의 density 산출방법 참고)와 tooling factor를 100%로 설정하여
1000Å~5000Å를 증착 합니다.
3) 두께를 측정하여 실제 두께와 측정된 두께가 같아질 때까지 Z-Factor(처음 default=1.0)를 조절하면서 증
착을 반복 합니다.

※ Z-Factor를 올바르게 설정하지 않는 경우 센서의 사용시간이 지날 수록 오차율(%)이 증가 합니다.

Q PCL-727 DAQ 카드 아날로그 출력 문제 해결 방법에 대하여

 A

최근 출시된 PC의 경우 일부 PCL-727 카드에서 아날로그 출력이 정상 동작하지 않는 경우가 있습니다.

원인은 메인보드에 -5V 공급이 되지 않기 때문입니다. PC의 파워서플라이를 확인하여 주시고, -5V가 공급되는 파워 서플라이로 교체하여 주십시오.

Q sqm242 카드 windows 2000/XP 설치 문제에 대하여

 A


Windows 2000/XP의 일부 configuration에서는 sqm242 드라이버와 함께 WD_VIRTUAL.INF를 같이 사용하는 경우가 있습니다.
드라이버를 설치 한 후 정상 동작 하지 않는 경우에는 WD_VIRTUAL.INF를 설치 해주어야 합니다.
설치를 위해 다음의 순서로 진행 하여 주십시오.
1. sqm242 driver 설치
2. restart.
3. wdregins.exe 실행(\\windows\\system32\\wdregins.exe)
4. restart.

Q 구형 온도 컨트롤러 P-100 설정 방법에 대하여

 A


1. pv->prog(check) mode로 전환
2. pn1에서 shift key와 seg을 동시에 누른다.
3. slh mode에서 shift key와 seg을 누른다.
4. leal1, ptn1, seg1, enter을 누르면 time mode 설정.
5. step에 따라 온도와 time을 기억시킨다.
6. sagment 1~16어느 mode나 정지하고 싶을때, time mode에서 깜빡깜빡 거릴때 (▷)shift key와 end key를 누른다.
7. step을 늘리고 싶을때, time mode에서 깜빡깜빡 거릴때 shift key와 end key을 누른 후 seg mode을 누르면 진행 된다.
8. 실행시 prog->pv로 전환 shift key와 reset key을 누르면 정지한다.

Q 산업용 PC의 전원 동기화에 대하여

 A

산업용 PC의 시스템 전원과 PC 전원 동기화에 대한 자료입니다. 자세한 내용은 첨부 파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : 시스템 전원과 PC 전원 동기화.pdf

Q 산업용 PC의 공유 메모리에 관하여

 A

산업용 PC의 공유 메모리 늘리는 방법에 대한 자료 입니다. 자세한 내용은 첨부 파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : 시스템 공유 메모리 늘리기.pdf

Q OLED 증착 관련 자료에 대하여

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OLED 증착 관련 자료에 대한 자료입니다. 자세한 내용은 첨부파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : OLED_TECH_DATA.pdf

Q Throttle Valve 조절 방법에 대하여

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아토벡 Throttle Valve 조절 방법에 대한 자료입니다. 자세한 내용은 첨부파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : throttle valve 조절 방법.pdf

Q 6inch RTA TEST

 A

6인치 RTA 에 대한 자료 입니다. 자세한 내용은 첨부 파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : 6inch RTA TEST.pdf

Q 2inch RTA TEST

 A

2인치 RTA에 대한 자료입니다. 자세한 내용은 첨부 파일을 참고 하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : 2inch RTA TEST.pdf

Q 도스 RTA 사용법에 관하여

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도스 RTA 사용법에 관한 자료입니다. 자세한 내용은 첨부 파일을 참고하시기 바랍니다. 

 첨부파일 : 도스 RTA 사용방법.pdf