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1. 크라이오 펌프 질소 퍼지가 완료 된 후 30분 또는 60분 동안 러핑 밸브를 열어 진공을 만들어 줍니다.

2. 러핑 밸브를 닫고 압력을 모니터링 합니다.

3. 15분 동안 압력의 변화를 확인 합니다.

4. 100mTorr 이하로 상승 하는 경우 정상 상태입니다.

5. 100mTorr 이상 압력이 상승하는 경우, 러핑밸브를 열고 펌프의 압력이 25mTorr 이하가 될때까지 펌핑을 합니다. 퍼지 상태에 따라 시간이 오래 걸릴 수도 있습니다.

6. 러핑 밸브를 열고 15분간 압력 상승을 확인 합니다.

7. 압력이 100mTorr이상 상승하는 경우 시스템의 리크여부를 확인 하여 주십시오.

8. 이상이 있는 경우 질소 퍼지를 다시 실시하고 반복하여 ROR확인을 합니다.

9. 수차례 질소 퍼지 반복 후에도 이상이 있는 경우, 크라이오 펌프를 점검 하여 주십시오.