A cluster system capable of mass production at once, realizing stable system operation and reproducibility(모든 공정을 한번에 처리 하고, 대량 생산에 최적화 되어 있는 클러스터 타입의 CVD & ICP-RIE 시스템)

A cluster system capable of mass production at once, realizing stable system operation and reproducibility(모든 공정을 한번에 처리 하고, 대량 생산에 최적화 되어 있는 클러스터 타입의 스퍼터 시스템)